标准号:GB/T 18867-2014

中文标准名称:电子工业用气体 六氟化硫
英文标准名称:Gases for electronic industry―Sulphur hexaflouride
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS)
G86
国际标准分类号(ICS)
71.100.20
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
主管部门
国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布单位
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注
2014年第30号公告
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